- 专利名称：一种补偿中口径介质膜平面反射镜镀膜形变的方法
- 专利号：ZL 201910246126.X
- 专利类型：发明专利
- 数据类型：开放许可
- 所属分类：化学；冶金
- 主分类号：C23C 14/08
- 专利类型：发明专利
- 申请（权利）人：中国科学院上海技术物理研究所
- 授权公告日：2021-06-15
- 申请日：2019-03-29
- 价格：一次付清元
费用支付标准 采用一次总付的方式，在合同生效后30日内一 次性全额支付所有使用费100000元。 费用支付方式 一次付清 生效日 2025-10-21 许可期限届满日 2039-03-28 声明编号 XK2025980010561
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联系人姓名：沈蓓丽 邮编：200083 地址：上海市虹口 区玉田 路500 号 电 子邮 箱：shenbl@ mail.sitp.ac.cn 电话：13636349245
